MOEMS三分量加速度地震检波器简谐振子设计(英文)

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采用惯性力与简谐振子相垂直及差动检测技术的方法,设计基于光弹效应的三分量加速度地震检波器简谐振子。对于简谐振子中的双M-Z干涉仪而言,光功率的均分和光的单模传输是实现正确检测加速度的基础。介绍了M-Z干涉仪的结构和工作原理。用波导光学模拟软件OptiBPM v9.0对双M-Z干涉仪光场传输进行仿真,得到双M-Z干涉仪的光场传输图。从仿真结果可以看出,从激光器LD发出的光经过双M-Z干涉仪后,1/4分支波导的光场峰值都达到了0.52,分光比达到了1:1:1:1,实现了光功率的均分,设计的简谐振子满足三分量加速度地震检波器实现正确检测加速度的要求。 Using the method of vertical and differential detection of inertial force and simple harmonic oscillator, a simple harmonic oscillator based on the photoelastic effect of three-component acceleration geophone is designed. For a dual M-Z interferometer in a simple harmonic oscillator, the equalization of optical power and single mode transmission of light are the basis for the correct detection of acceleration. The structure and working principle of M-Z interferometer are introduced. Waveguide optical simulation software OptiBPM v9.0 was used to simulate the light field transmission of dual M-Z interferometer, and the light field transmission of double M-Z interferometer was obtained. It can be seen from the simulation results that the peak of the 1/4-branch waveguide reaches 0.52 after the light emitted from the laser LD passes the double MZ interferometer, and the splitting ratio reaches 1: 1: 1: 1, realizing the optical power Of the points, the design of harmonic oscillator to meet three-component acceleration geophone to achieve the correct detection of acceleration requirements.
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