【摘 要】
：
适宜的抛光工艺参数对Si片表面平整度聊、TIR、STIR等参数起到至关重要的作用。介绍了化学机械抛光（CMP）有效实现Si片全局和局部平坦化的方法和设施，指出并说明CMP是一种化学作
论文部分内容阅读
适宜的抛光工艺参数对Si片表面平整度聊、TIR、STIR等参数起到至关重要的作用。介绍了化学机械抛光（CMP）有效实现Si片全局和局部平坦化的方法和设施，指出并说明CMP是一种化学作用和机械作用相结合的技术，给出了其影响因素。利用DOE（design of experiment）实验方法，结合实际生产条件，获得并验证了最优化的生产工艺参数，改善了Si片表面平整度。
其他文献
为实现PC机在控制局域网络 (CAN)中的应用 ,开发设计了一种PC机与CAN的接口———CAN通讯卡。该通讯卡采用微控制器完成底层的CAN通讯任务 ,并利用双口RAM与PC机进行数据交换
近几十年来，从南蛇藤植物中已分离得到60余种化合物，其中大部分是倍半萜、三萜和黄酮。本文概述从南蛇藤中得到的数十种化合物的结构和波谱数据。
<正> 电子爱好者在进行电子制作时,经常会用到或见到各种各样的小型电磁式继电器。常见小型电磁继电器的型号和主要参数通常由三部分组成,如图1所示。其中第一部分表示继电器
目的:探讨基于高蛋白饮食建立鸡痛风性关节炎模型时饲料蛋白含量与造模效果之间的量效关系。方法:将160只30日龄雄性湘黄鸡随机分为对照组、模型1组、模型2组和模型3组,每组4
目的分析6例外伤性颈内动脉海绵窦瘘的临床特点、诊断、鉴别诊断和治疗.方法回顾性地对外伤性颈内动脉海绵窦瘘的致伤原因、致伤物、就诊时间、临床特点、诊断、鉴别诊断及治
背景与目的鼻咽癌(nasopharyngeal carcinoma, NPC)是一种极具特色的肿瘤,具有复杂的病因学及奇特的地理分布,是我国华南地区发病率最高的头颈部恶性肿瘤。其预后与分期密切
高层管理团队作为企业国际化战略的决策团队,其人口学特征对企业的国际化程度有重要的影响。根据高层管理团队理论构建了高层管理团队人口统计学特征与国际化程度之间关系理
意大利即兴喜剧始于16世纪,经过相继的改良,简洁生动地体现了喜剧的精髓.即兴喜剧所代表的结构正是现实社会的写照,这种喜剧精神一直延续到现代并被继续引用.在幽默而笑的同
当前,作为基础教育重要组成部分的农村基础教育还相当薄弱,成为制约我国实现教育均衡发展和城乡统筹发展的关键问题。了解与解决农村基础教育问题,将是改善我国教育状况的一
对于丁玲来说，生命的辉煌与劫难都与延安文艺时代密不可分，延安文艺时代成就了丁玲，也为其以后的劫难埋下了伏笔。通过丁玲与延安文艺的建构、碰撞、融合关系的梳理，不难看出丁玲