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MgO介质保护膜掺杂可以改变其性能，基于这一现象，本文利用电子束加热蒸镀法，在多种掺杂比和多种工艺条件下制备了MgO介质保护膜和宏单元气体放电屏。利用扫描电子显微镜（SEM）对制备的复合介质保护膜样品的进行了微观表征，并且，利用宏单元气体放电实验屏研究了介质保护膜的气体放电特性。结果表明：与纯Mg0介质保护膜相比，掺杂Sc2O3的介质保护膜具有较好的性能。