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磁致伸缩效应可用作实现纳米级的微量进给。本文对所研制的磁致伸缩机构的性能进行了实验。此机构可在２．５μｍ范围内进行最小位移量为２ｎｍ，位置精度±２ｎｍ的微量位移。本文还介绍了利用磁致伸缩机构实现三向微量进给的微动工作台。
磁致伸缩纳米级微量进给机构的实验研究
【摘 要】
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磁致伸缩效应可用作实现纳米级的微量进给。本文对所研制的磁致伸缩机构的性能进行了实验。此机构可在２．５μｍ范围内进行最小位移量为２ｎｍ，位置精度±２ｎｍ的微量位移。本文还介绍了利用
【机 构】
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哈尔滨工业大学
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1995年S1期
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