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通过介绍石英舟载体的独特性,提出了其上下料机的设计要点,介绍了该上下料机的技术参数和工艺流程,详细分析了设备的各部分结构设计,说明了设备的相关配套功能。
扩散退火一体化上下料机构设计
【摘 要】
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通过介绍石英舟载体的独特性,提出了其上下料机的设计要点,介绍了该上下料机的技术参数和工艺流程,详细分析了设备的各部分结构设计,说明了设备的相关配套功能。
【机 构】
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中国电子科技集团公司第二研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2018年2期
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