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介绍了一种实用的平板电容式MEM SRF 射频开关.研究了外加驱动电压与由此所引起的极板间距和极板受力变化之间的非线性关系,提出了一种有效的基于有限元的设计分析方法,在此基础上设计了相应的MEMS加工工艺流程,并给出了具体的MEMS工艺.
一种平板式MEMS RF射频开关的设计
【摘 要】
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介绍了一种实用的平板电容式MEM SRF 射频开关.研究了外加驱动电压与由此所引起的极板间距和极板受力变化之间的非线性关系,提出了一种有效的基于有限元的设计分析方法,在此
【机 构】
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厦门大学
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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2004年10期
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