论文部分内容阅读
针对具有低损耗、高隔离度性能的微机电系统（Micro-Electro-Mechanical System,MEMS）开关,介绍了串联DC式和并联电容式的开关结构模型,并对并联电容式MEMS开关的工作原理、等效电路模型和制造工艺流程进行了描述,利用其模型研究了开关的微波传输性能,设计了一款电容耦合式开关并进行了仿真。由仿真结果可得,开关＂开态＂时的插入损耗在40 GHz以内优于-0.3 dB;开关＂关态＂时的隔离度在20～40 GHz相对较宽的频带内优于-20 dB。