Wollaston棱镜方位对激光干涉测量精度的影响

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在双频激光干涉测量系统中,Wollaston棱镜是不可缺少的重要光学元件,它可将双频激光按偏振方向分为测量光和参考光,从而实现高精度测量;但是,如果Wollaston棱镜的安装方位相对入射光线方向以及与聚集透镜距离不同时,测量结果将会不同。本文结合表面粗糙度激光测量系统,从理论上定量分析了Wollaston棱镜的安装方位对测量精度的影响。
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