薄膜涂覆的研究进展

来源 :北京工业大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhaojingda08
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由于薄膜流过的基面不是平面,涂覆机械在工作时的振动和旋转使薄膜产生不均匀性.因此对于薄膜的非均匀性行为需要进行深入的力学研究.本文对薄膜涂覆工艺及分类进行了介绍,从力学角度阐述了影响薄膜厚度、均匀程度及涂覆速度的诸多因素,如薄膜流动、边界层、动态湿周、动态接触角、接触线等.并展望了薄膜涂覆的发展现状.
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