【摘 要】
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在晶圆级芯片测试过程中,晶圆探针台是测试正确进行的关键实施设备,探针台的使用与输出的map图等数据将直接反应晶圆(wafer)测试情况;目前探针台(prober)设备存在型号多、指
【机 构】
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广东利扬芯片测试股份有限公司,西安电子科技大学微电子学院
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在晶圆级芯片测试过程中,晶圆探针台是测试正确进行的关键实施设备,探针台的使用与输出的map图等数据将直接反应晶圆(wafer)测试情况;目前探针台(prober)设备存在型号多、指令类型繁杂和必须现场操作的问题,增加了测试人员对测试方案开发以及量产测试监测的难度;为此提出了一种基于NI-VISA与网络地址转换(network address translation,NAT)内外网穿透的软件设计,通过将NI底层动态链接库嵌入到软件函数中,并集成为人机交互界面,实现测站终端与探针台快速连接控制,并通过快速反向
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