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以Ｓｎ（ＯＨ）４水合胶体为原料，采用溶胶－凝胶方法在Ｓｉ片上制备了ＳｎＯ２纳米晶薄膜，利用差热、热重、Ｘ光衍射以及原子力显微镜对薄膜的合成以及特性进行了分析，结果表明：在６００℃条件下烧结结晶的纳米晶薄膜表面平整，具有金红石结构，平均粒度在１０ｎｍ左右。以该薄膜为敏感体采用平面工艺制成的ＦＥＴ式气敏元件在常温下对乙醇蒸汽具有非常好的选择性。