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研究了５０．８ｍｍ液封直拉非掺杂半绝缘砷化镓单晶中ＡＢ微缺陷的显微特征，率先提出了一种定量表征微缺陷的新方法，揭示了ＡＢ微缺陷在单晶各部位的分布规律。
半绝缘砷化镓单晶中AB微缺陷的定量研究
【摘 要】
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研究了５０．８ｍｍ液封直拉非掺杂半绝缘砷化镓单晶中ＡＢ微缺陷的显微特征，率先提出了一种定量表征微缺陷的新方法，揭示了ＡＢ微缺陷在单晶各部位的分布规律。
【机 构】
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电子工业部第四十六研究所
【出 处】
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兵器材料科学与工程
【发表日期】
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1995年03期
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