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本文介绍了用物理气相沉积（PVD）方法制备薄膜的应力与微观结构的变化，及它们之间的相互关系，总结了应力产生的模型和机理。并就岛状模式生长多晶薄膜中的应力可逆现象给予了关注。最后，总结了当前薄膜应办的测试方法。
物理气相沉积法制备薄膜的内应力形成机理及测量方法
【摘 要】
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本文介绍了用物理气相沉积（PVD）方法制备薄膜的应力与微观结构的变化，及它们之间的相互关系，总结了应力产生的模型和机理。并就岛状模式生长多晶薄膜中的应力可逆现象给予了关注
【机 构】
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中国科学院合肥物质科学研究院图书馆,中国科学院固体物理研究所
【出 处】
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科技创新导报
【发表日期】
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2009年34期
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