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以OLED掩膜版清洗厂房为例说明甲类洁净厂房的洁净空调设计要点,并结合实际运行情况提出改善方向。
OLED掩膜版(Mask)清洗厂房洁净空调设计分析
【摘 要】
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以OLED掩膜版清洗厂房为例说明甲类洁净厂房的洁净空调设计要点,并结合实际运行情况提出改善方向。
【机 构】
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成都京东方光电科技有限公司
【出 处】
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洁净与空调技术
【发表日期】
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2020年3期
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ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技