研究了工艺条件(沉积温度、真空度、蒸发束流)对LaTiO3薄膜光学和激光损伤特性的影响。采用椭偏法测量了薄膜的光学常数,分析了不同工艺条件下制备薄膜的折射率和消光系数,得出工艺参数与薄膜光学性能的相互关系。研究结果表明,当沉积温度从室温(未加热)升高到220℃,所制备薄膜的折射率从1.9334增大到1.9644(d光)。当真空度从6.5×10-3(未充O2)降低到2.0×10-2Pa时,薄膜的折射率从1.9726下降到1.9268。随着束流从75增加到140 m A,薄膜的折射率从1.9337到1.9548略微有所增加。在所研究的工艺参数范围内,薄膜的折射率基本稳定,消光系数均小于1.74×10-3,尤其当沉积速率低于0.44 nm/s时,所制备薄膜的消光系数优于10-6。LaTiO3薄膜的激光损伤形貌随制备工艺而不同,其激光损伤阈值约为16.2~18.8 J/cm2(1064 nm,10 ns)。