【摘 要】
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金刚石作为一种举世瞩目的特种功能材料，具有无与伦比的优异性能。CVD金刚石是采用化学气相沉积（简称CVD）的方法制备出来的一种全晶质多晶纯金刚石材料，它可以呈膜状附着于基底表
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金刚石作为一种举世瞩目的特种功能材料，具有无与伦比的优异性能。CVD金刚石是采用化学气相沉积（简称CVD）的方法制备出来的一种全晶质多晶纯金刚石材料，它可以呈膜状附着于基底表面，故又常称金刚石膜。CVD金刚石的制备成本远低于大颗粒的优质天然单晶金刚石，可以大面积化和曲面化，而且其厚度可按需要从不足1微米直至数毫米。金刚石膜具有广泛的应用前景。在机械性能应用方面，它优于天然金刚石单晶，可制作各种尺寸的工具，韧性良好、价格低廉。同时代于聚晶金刚石、100％纯金刚石，不包含任何添加剂，无任何颗粒性，高光洁度，耐
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