【摘 要】
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研究了纯硅中微量和痕量杂质元素铝、钙、铁、锰、磷、铬、铜、镍、钛、钒、锆、砷和硼等电感耦合等离子体原子发射光谱( ICP-AES) 的同时测定方法,样品以硝酸、盐酸和氢氟酸
【机 构】
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广州出入境检验检疫局,广东省韶关出入境检验检疫局
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研究了纯硅中微量和痕量杂质元素铝、钙、铁、锰、磷、铬、铜、镍、钛、钒、锆、砷和硼等电感耦合等离子体原子发射光谱( ICP-AES) 的同时测定方法,样品以硝酸、盐酸和氢氟酸挥硅处理方法,在样品处理过程中,加入适量的甘露醇能够抑制硼的挥发.在优化选定的仪器条件和介质中测定纯硅样品和纯硅标准样品.纯硅样品中13个杂质元素的回收率均在92.0% ～ 105.0%之间,相对标准偏差均小于5.0%.
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