【摘 要】
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运用法布里-珀罗(Fabry-Perot)干涉技术,将被测元件等效成测量系统的干涉腔,采用相邻干涉极值的判定依据,实现了对固体腔型超窄带梳状滤波器组成元件——未镀膜层固体腔(熔融
【机 构】
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西北工业大学精确制导与控制研究所,第二炮兵工程学院,
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运用法布里-珀罗(Fabry-Perot)干涉技术,将被测元件等效成测量系统的干涉腔,采用相邻干涉极值的判定依据,实现了对固体腔型超窄带梳状滤波器组成元件——未镀膜层固体腔(熔融石英)的高精度厚度测量。该光学测量系统结构简单、温度稳定性好、成本低,完全可以实现以往需采用光谱分析仪才能完成的超精细测量。
The Fabry-Perot interference technique is used to equalize the device under test into the interferometer cavity of the measurement system. Based on the judgment of the adjacent interference extremum, Components - High-precision thickness measurement of uncoated solid chamber (fused silica). The optical measurement system has the advantages of simple structure, good temperature stability and low cost, and can fully realize the ultra-fine measurement that can be achieved by using an optical spectrum analyzer in the past.
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