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本文介绍一种采用全息光学元件构成的光触针式非接触光学测头，着重探讨了用电子束曝光法制作全息光学元件的一些技术问题，给出了部分计算机模拟及实验结果。
采用全息光学元件的非接触光学测头
【摘 要】
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本文介绍一种采用全息光学元件构成的光触针式非接触光学测头，着重探讨了用电子束曝光法制作全息光学元件的一些技术问题，给出了部分计算机模拟及实验结果。
【机 构】
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天津大学精密仪器工程系,美国特拉华大学
【出 处】
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计量学报
【发表日期】
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1992年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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