【摘 要】
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过去几年,重点研究了金属有机汽相外延(OMVPE)HgCdTe的材料制作器件的适用性。本文将论述用直接合金(DAG)法生长HgCdTe的最研成果和某些器件最新成果。得到截止波长为5.5μm
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过去几年,重点研究了金属有机汽相外延(OMVPE)HgCdTe的材料制作器件的适用性。本文将论述用直接合金(DAG)法生长HgCdTe的最研成果和某些器件最新成果。得到截止波长为5.5μm外延层,其p-n结R_0A乘积高达1×10~6Ωcm~2,金属—绝缘体—半导体(MIS)电荷储存时间高达250ms,同时还讨论层的组分均匀性和重复性问题。
The past few years have focused on the applicability of materials made of metal-organic-vapor-phase epitaxy (OMVPE) HgCdTe devices. This article will discuss the most recent research results of HgCdTe grown by direct alloy (DAG) and the latest results of some devices. The results show that the epitaxial layer with a cutoff wavelength of 5.5μm has a pn junction R_0A product of up to 1 × 10 ~ 6Ωcm ~ 2 and a metal-insulator-semiconductor (MIS) charge storage time of up to 250ms. The layer uniformity and repeatability are also discussed .
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