【摘 要】
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光发射显微镜（PEM）系统是应用于微电子器件漏电流定位和分析的有效工具。利用PEM系统的激光光束诱导阻抗变化（OBIRCH）功能和光发射（EMMI）功能，从正面可直接对功率器件大的漏电流进行
【机 构】
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复旦大学材料科学系,快捷半导体（苏州）有限公司
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光发射显微镜（PEM）系统是应用于微电子器件漏电流定位和分析的有效工具。利用PEM系统的激光光束诱导阻抗变化（OBIRCH）功能和光发射（EMMI）功能，从正面可直接对功率器件大的漏电流进行定位观察。利用PEM的EMMI功能，还可从背面对器件微弱的漏电流进行定位和分析。介绍了PEM系统对功率器件芯片不同量级的漏电流进行定位与分析的应用，为分析功率器件漏电流失效提供依据。
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