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金刚石薄膜的各种性质与天然金刚石几乎相同,具有非常广阔的工业前景。本文采用乙醇和氢气作为工作气源,利用微波等离子体化学气相沉积法,在较低的温度下制备了金刚石薄膜,并研究了金刚石薄膜生长的影响因素。
微波等离子CVD法对金刚石薄膜生长的研究
【摘 要】
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金刚石薄膜的各种性质与天然金刚石几乎相同,具有非常广阔的工业前景。本文采用乙醇和氢气作为工作气源,利用微波等离子体化学气相沉积法,在较低的温度下制备了金刚石薄膜,并
【机 构】
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贵州工业职业技术学院
【出 处】
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科技传播
【发表日期】
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2010年18期
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