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文章论述了在半导体纯材料和超净环境所处的重要地位和作用，并着重讨论了搞好净化系统、厂房的设计建造和运行管理的几个重要环节，以供从事该项工作的组织管理、工程技术和工艺人员学习参考。
超纯材料和超净环境
【摘 要】
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文章论述了在半导体纯材料和超净环境所处的重要地位和作用，并着重讨论了搞好净化系统、厂房的设计建造和运行管理的几个重要环节，以供从事该项工作的组织管理、工程技术和工艺
【机 构】
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重庆光电技术研究所
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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1996年3期
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