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介绍了晶圆抛光雾(Haze)产生的机理,给出了Haze在实际生产过程中的人工目检表现,同时对Haze做了分级,系统的介绍了控制Haze的因素,通过对原材料及CMP工艺的优化可有效的控制Haze,获得高质量的晶圆表面。
CMP中晶圆抛光雾缺陷控制
【摘 要】
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介绍了晶圆抛光雾(Haze)产生的机理,给出了Haze在实际生产过程中的人工目检表现,同时对Haze做了分级,系统的介绍了控制Haze的因素,通过对原材料及CMP工艺的优化可有效的控制H
【机 构】
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洛阳麦斯克电子材料有限公司,
【出 处】
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科协论坛(下半月)
【发表日期】
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2012年02期
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