论述了一种基于仿真分析的半导体设备内部空间气流路径、紊流位置、各分区风压的闭环反馈系统及结构,目的在于使设备能够自动净化......

回顾了当前落叶松制浆的工业生产，展望了我国２１世纪落叶松的制浆方法。硫酸盐法仍然是一种较好的方法，将会有稳定的发展；而落叶松ＣＭＰ（ＣＴＭＰ）、ＳＣＭＰ、ＫＰ－ＳＣＭＰＹ同......

介绍了针对蓝宝石衬底表面纳米级抛光工艺而研制的PG-510单面抛光机的主要结构及其性能特点,简要论述了抛光过程中各工艺参数的控......

介绍了晶圆抛光雾(Haze)产生的机理,给出了Haze在实际生产过程中的人工目检表现,同时对Haze做了分级,系统的介绍了控制Haze的因素,......