【摘 要】
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设计并制作了一种液路自对准的高频硅基超声雾化器,利用有限元分析软件对器件的特性进行了系统的仿真分析,得到施加30V的激励电压后器件的阻抗特性,相应谐振频率下的位移、应
【机 构】
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山东师范大学物理与电子科学学院,中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所国际实验室,中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米器件与应用重点实验室,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点
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设计并制作了一种液路自对准的高频硅基超声雾化器,利用有限元分析软件对器件的特性进行了系统的仿真分析,得到施加30V的激励电压后器件的阻抗特性,相应谐振频率下的位移、应力分布及变幅杆各部分振动位移随时间的瞬态变化图。结果表明,仿真分析与理论设计相符。最后,通过微机电系统(MEMS)工艺制备了谐振频率为1 MHz的硅基超声雾化器,为后期实验测试打好基础。
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