【摘 要】
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基于CBO晶体优良的特性,278nm全固态激光系统已成为研究热点。根据278nm激光系统技术要求,研制了一种倍频分离膜用于二倍频激光和四倍频激光的分离。本文在JGS1基底上,结合激
【机 构】
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长春理工大学光电工程学院; 天津理工大学功能晶体研究院; 天津理工大学天津市功能晶体材料重点实验室;
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基于CBO晶体优良的特性,278nm全固态激光系统已成为研究热点。根据278nm激光系统技术要求,研制了一种倍频分离膜用于二倍频激光和四倍频激光的分离。本文在JGS1基底上,结合激光损伤热效应机理及材料的本征吸收,选择金属铪和UV-SiO2作为薄膜材料。利用Macleod膜系设计软件分析了电场强度分布随膜系周期变化规律,依据薄膜设计理论和激光损伤场效应机理,完成了倍频分离膜的设计。采用X射线光电子能谱仪、分光光度计和ZYGO干涉仪表征了薄膜化学成分、光学性能和表面粗糙度,对比分析实验结果,优化薄膜生长工艺,减小了外因吸收。测试结果表明,入射角为45°时,278nm波长处透过率为98.82%,556nm波长处反射率为99.80%,在40°～50°宽入射角范围内,光谱性能均达到技术指标,激光损伤阈值为12.53J/cm2,满足使用要求。
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