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对几种可用于MEMS电容式开关中的弹性薄膜材料进行了分析,含硅4%的轻质量铝合金具有较佳的性能.应用该弹性膜制备了微波MEMS电容式开关,实验结果表明,开关具有较低的激励电压,约为28V,在10GHz处的隔离度大于15dB.
铝硅合金膜在MEMS电容式开关中的应用
【摘 要】
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对几种可用于MEMS电容式开关中的弹性薄膜材料进行了分析,含硅4%的轻质量铝合金具有较佳的性能.应用该弹性膜制备了微波MEMS电容式开关,实验结果表明,开关具有较低的激励电压
【机 构】
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华东师范大学信息科学技术学院
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2001年12期
【基金项目】
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国家重点基础研究发展计划(973计划)，国家自然科学基金，国家自然科学基金，高等学校博士学科点专项科研项目，上海市应用材料研究与发展基金
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