PVD——一种成熟的硬涂层工艺

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PVD(物理气相沉积)超硬工艺是一种金属或金属化合物蒸汽在真空下冷凝到零件上的工艺,这样零件上就沉积一层薄薄的硬表面涂层,这种涂层表面的硬度一般是传统的大气或真空炉工艺热处理生成的表面硬度的2倍或3倍.PVD工艺可进行多次沉积,取每种涂层各自的优点,以达到最佳效果.因而,PVD工艺在粘附和耐冲击方面具有明显的优势.用PVD法生产的涂层非常薄且连续性好,一般小于5μm.这对精密工具加工来说十分重要. 通常选用的硬涂层主要为氰化钛(TiN)、氯化铬(CrN)和碳氰化钛(TiCN),其各有优点:TiN有诱人的金
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