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对等离子体氢还原金属氧化物实验中设计的控制电路进行了介绍,对控制电路实际灭弧功能进行了测试,分析了放电过程中引起弧光放电的原因,指出维持稳定辉光放电需要采取的措施.
直流脉冲辉光等离子体控制电路及其灭弧效果分析
【摘 要】
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对等离子体氢还原金属氧化物实验中设计的控制电路进行了介绍,对控制电路实际灭弧功能进行了测试,分析了放电过程中引起弧光放电的原因,指出维持稳定辉光放电需要采取的措施.
【机 构】
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上海大学
【出 处】
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冶金自动化
【发表日期】
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2004年z1期
【基金项目】
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上海市自然科学基金资助项目(00JC14013)
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