直流辉光等离子体相关论文
采用热阴极直流辉光等离子体CVD方法,在氩气/甲烷/氢气混合气氛中制备出纳米晶金刚石膜,研究不同氩气/氢气流量比对纳米金刚石膜沉......
介绍了低气压下直流辉光放电等离子体的实验装置,该装置具有结构合理、调节方便、测量参数多等特点,可在其上开展等离子体参数测量......
对等离子体氢还原金属氧化物实验中设计的控制电路进行了介绍,对控制电路实际灭弧功能进行了测试,分析了放电过程中引起弧光放电的......
介绍一种等离子体教学实验装置的构造、原理及其诊断方法,其主体是由球形玻璃真空放电室构成,它可获得直流辉光等离子体;当外加磁场时......
在工作气体采用氩气和甲烷混合气体(4:1)的直流辉光放电中,在工作气压分别为10、20、30和40Pa以及沉积时间分别为10、20和30min下利用......
本发明属于低温等离子体技术领域中材料表面改性技术,公开了一种利用直流辉先放电等离子体的细长金属管内表面常温注氮方法,其特征是......
研究探索了直流辉光低温等离子体对Sn-S合金熔体的精炼效应.实验结果表明:在氢等离子体作用下熔体中的硫可以脱除到极低的水平,但......
介绍了低气压下直流辉光放电等离子体的实验装置,该装置具有结构合理、调节方便、测量参数多等特点,可在其上开展等离子体参数测量、......