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HPG是一种大功率RF功率供应平台，应用于大面积等离子工艺，经过了优化布局，该系统的质量指标和可靠性都得以改善，其先进之处还包括功率控制、测量和故障诊断方面的强大功能，它采用固态传动和真空管放大器。
RF系统
【摘 要】
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HPG是一种大功率RF功率供应平台，应用于大面积等离子工艺，经过了优化布局，该系统的质量指标和可靠性都得以改善，其先进之处还包括功率控制、测量和故障诊断方面的强大功能，它采用
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2006年5期
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