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对锑化铟（InSb）铍离子（Be＋）注入后的快速退火技术进行了研究,并对不同退火温度和时间的晶片进行了工艺实验,通过测试其PN结I-V特性,对比了不同快速退火条件对PN结特性的影响,确定在一定快速热退火条件下可以获得高质量的PN结,并对试验结果进行了分析。
锑化铟离子注入退火技术研究
【摘 要】
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对锑化铟（InSb）铍离子（Be＋）注入后的快速退火技术进行了研究,并对不同退火温度和时间的晶片进行了工艺实验,通过测试其PN结I-V特性,对比了不同快速退火条件对PN结特性的影响,确定
【机 构】
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华北光电技术研究所
【出 处】
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激光与红外
【发表日期】
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2013年12期
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