硅四端型膜片式压力传感器的优化设计与分析

来源 :华中理工大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:pan2009pan
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本文从理论上分析了硅剪切压阻系数的择优取向,以及在矩形、方形和圆形弹性膜片上欲获得较大剪应力,电阻条的布局原则。利用本文提供的方法,对某些膜片上的四端应变电阻所进行的布局分析与Kanda用有限差分法计算出来的布局结果基本一致。文中还提出了膜片上一些新的布局,供设计者选用。
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