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利用发射光谱（Optical emission spectroscopy,OES）对感应耦合等离子体增强化学气相沉积（Inductively coupled plasma enhance chernical vapor deposition，ICPECVD）类金刚石（Diamond like carbon，DLC）膜过程中的各种基团进行分析，并对不同条件下薄膜沉积速率以及薄膜显微硬度进行测试。分析结果发现，感应耦合等离子体源激发甲烷等离子体中存在比较突出的碳氢离子成分，从而促进形成高硬度的DLC膜。而且射