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卢瑟福背散射技术是分析固体表面层元素成分、杂质含量和浓度分布分析，以及薄膜厚度、界面特性分析不可缺少的手段，具有灵敏度高、分析时间短、对样品的损伤较小、分析方法简便可靠等优点，在研究领域有着广泛的应用。从卢瑟福背散射技术分析原理入手，利用入射离子与靶原子核之间的大角度库仑散射现象，通过对散射离子能量、产额等物理量的测量，确定离子交换KTiOPO4波导中Rb原子的深度等参数分布。