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论述了具有立方织构的金属镍基底上，采用射频射的方法制备了ＣｅＯ２缓冲层。以Ａｒ／Ｈ２混合气体作为溅射气体，有效地抑制ＮｉＯ的形成，获得纯ｃ轴了向的ＣｅＯ２薄膜。Ｘ射线ψ扫描、ω扫描和极图的测试分析表明，ＣｅＯ２薄膜在平面内和垂直于膜面方向晶粒都是有序排列的。具有良好的立方织构。
磁控溅射法在立方织构镍基底上制备了CeO2缓冲层
【摘 要】
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论述了具有立方织构的金属镍基底上，采用射频射的方法制备了ＣｅＯ２缓冲层。以Ａｒ／Ｈ２混合气体作为溅射气体，有效地抑制ＮｉＯ的形成，获得纯ｃ轴了向的ＣｅＯ２薄膜。Ｘ射线ψ扫描、ω扫描和极图的测试分析表明，ＣｅＯ２薄
【机 构】
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北京有色金属研究总院超导中心
【出 处】
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稀有金属
【发表日期】
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2000年4期
【基金项目】
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国家超导技术研究中心,,国家自然科学基金资助
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