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超薄ＬｉＮｂＯ３晶片与窗玻璃的焊接是制作微通道板空间光调制器的关键工艺之一。常规的焊接方法满足不了对焊接面的特殊要求。本文作者依照真空扩散焊原理，开发了一种用廉价金属铝作过渡层的焊接工艺。实现了这两种非金属材料之间的机械及电气上的牢靠连接。更多还原
超薄LiNbO3晶片与窗玻璃的真空扩散法焊接
【摘 要】
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超薄ＬｉＮｂＯ３晶片与窗玻璃的焊接是制作微通道板空间光调制器的关键工艺之一。常规的焊接方法满足不了对焊接面的特殊要求。本文作者依照真空扩散焊原理，开发了一种用廉价金属铝作过渡
【机 构】
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中国科学院西安光学精密机械研究所,西安仪表厂,西安交通大学电气工程系
【出 处】
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光子学报
【发表日期】
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1994年1期
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