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应用氧离子注入(Separation by Implantation of Oxygen)SIMOX技术,制作适合于高温环境条件下的固态压阻式硅隔离(SOI)压力敏感元件.采用了一种新型梁膜结合封装工艺,有效地解决了被测压力高温冲击问题,可应用于航空、航天发动机等恶劣环境下的压力测量.
基于SIMOX技术的高温压力传感器研制
【摘 要】
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应用氧离子注入(Separation by Implantation of Oxygen)SIMOX技术,制作适合于高温环境条件下的固态压阻式硅隔离(SOI)压力敏感元件.采用了一种新型梁膜结合封装工艺,有效地
【机 构】
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西安交通大学精密工程研究所
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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2004年2期
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