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采用真空阴极电经反沉积技术，在纯钛球顶高音声声器振膜上镀类金刚石膜，为成类金刚石／钛复合振膜。研究了钛基体的材质、厚度、振膜的几何尺寸和形状、类金刚石镀膜工艺参数对复合振膜性能的影响。在镀膜过程中采用特殊的辅助夹具以及合理的遮挡技术，保证振膜不变形和最佳的类金刚石膜层厚度分布，使类金刚石／钛复合振膜的频响达到３０ｋＨｚ，并且能实现批量生产。