【摘 要】
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采用磁控溅射法制备SrRuO3（SRO）薄膜、脉冲激光沉积法制备BiFeO3（BFO）,构架了Pt/SRO/BFO/SRO/SrTiO3（001）异质结,采用X射线衍射仪（XRD）、铁电测试仪研究了沉积温度对BFO薄膜结构和性
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采用磁控溅射法制备SrRuO3（SRO）薄膜、脉冲激光沉积法制备BiFeO3（BFO）,构架了Pt/SRO/BFO/SRO/SrTiO3（001）异质结,采用X射线衍射仪（XRD）、铁电测试仪研究了沉积温度对BFO薄膜结构和性能的影响。研究结果表明,随着温度的升高,BFO（001）和（002）衍射峰强度逐渐增强,BFO（110）和Bi2O3衍射峰强度逐渐减小,不同沉积温度下生长的样品都具有铁电性,在800 kV/cm的电场下,640℃下生长的BFO薄膜的剩余极化强度为65μC/cm2。采用数学拟合的方法研
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