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原子喷丸效应是薄膜溅射沉积过程中的普遍现象，是指反弹工作气体原子和溅射原子构成的荷能粒子流对生长膜面的轰击作用，这些荷能粒子在向基片运输的过程中受到工作气体原子的散射。原子喷丸效应与靶材和工作气体的原子质量比以及工作气体压强密切相关。
薄膜溅射沉积过程中的原子喷丸效应
【摘 要】
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原子喷丸效应是薄膜溅射沉积过程中的普遍现象，是指反弹工作气体原子和溅射原子构成的荷能粒子流对生长膜面的轰击作用，这些荷能粒子在向基片运输的过程中受到工作气体原子的散
【机 构】
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清华大学材料科学与工程系,佛山市陶瓷研究所
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1996年4期
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