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期刊论文
基底特性对铝膜表面形貌的影响
基底特性对铝膜表面形貌的影响
来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:epslon111
【摘 要】
:
用扫描电子显微镜对沉积在硅油表面的金属铝膜上,下表面的形貌进行了研究,证实了液体基底特性对金属铝膜表面形貌的重要影响。
【作 者】
:
夏阿根
金进生
【机 构】
:
浙江大学物理系
【出 处】
:
真空科学与技术
【发表日期】
:
2000年6期
【关键词】
:
液体基底
锲形膜
表面形貌
硅油
铝膜
SEM
Liquid substrate
Wedgeshaped film
Wrinkly
Surface morpho
【基金项目】
:
国家自然科学基金!资助项目 (198740 16 ),,浙江省青年人才基金!资助项目 (1997 RC96 0 3)
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用扫描电子显微镜对沉积在硅油表面的金属铝膜上,下表面的形貌进行了研究,证实了液体基底特性对金属铝膜表面形貌的重要影响。
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