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针对351nm波长的XeF准分子激光器，自行设计了用于高精度、高产率、大面积且常规抗蚀剂曝光的印刷电路板（PCB,）激光投影成像照明系统。根据准分子激光的部分相干平顶高斯光束（PCFGB）理论模型，对微透镜阵列器（MLA）均束的衍射特性进行了理论分析。由PCFGB分布函数、稳定光强输出的衍射角和菲涅耳-基尔霍夫衍射积分公式，定量分析衍射效应对MLA均柬的影响．理论计算表明，微透镜边缘发生菲涅耳衍射和微透镜产生的多光束干涉都能引起光振幅调制，只不过衍射产生的尖峰更明显地出现在光束边缘。同时，由数值积分得到的