XeF准分子激光相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

XeF准分子激光相关论文

印刷电路板激光投影成像照明系统均匀性分析

针对351nm波长的XeF准分子激光器，自行设计了用于高精度、高产率、大面积且常规抗蚀剂曝光的印刷电路板（PCB,）激光投影成像照明系统。......

期刊

激光技术均束器激光投影成像光刻 XeF准分子激光印刷电路板加工窗 laser techniques beam homogenizer laser p

大面积PCB投影扫描式激光曝光机的研制

随着电子产品对大面积、高精度成像的需求,对印制电路板的设计与制造的要求也越来越高。这也推动了PCB生产所需的曝光设备的研制。......

学位

曝光机印制电路板激光投影成像 XeF准分子激光分辨力

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