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为了验证Parylene N在毫米波电路防护上应用的可行性，对35GHz的薄膜滤波器和Ka频段的低噪声放大器进行了Parylene处理。测试结果表明，5μm的Parylene N膜层使薄膜滤波器中心频率下偏了约0．4％，10μm膜层使其中心频率下偏了约0．7％；5μm的Parylene N膜层使低噪放的噪声系数略有增大、增益略有降低。最后，对Parylene处理后的低噪放进行了湿热试验，高、低温贮存试验，发现其噪声系数曲线、增益曲线与试验前的走势一致性较好。因而，Parylene处理技术在毫米波电路防护上