CVD金刚石在工具和机械零件方面的应用(续)

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<正> 2 应用于研磨工具 用微波等离子体CVD法,在钼片上生长由金刚石和无定形碳组成的混合型粒状材料。下面研究将这种材料应用于研磨工具的可能性。 2.1 金刚石和无定形碳混合物的生长 用微波等离子体CVD法合成金刚石,以甲烷和氢气的混合气体为原料,以钼片作衬底;如果甲烷与氢气之比为3%左右,就可
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