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介绍了MOCVD在位反射谱监测的原理,利用高斯分布模拟GaN材料生长过程中表面不均衡平整度,计算其对反射谱的影响.
MOCVD材料生长的在位反射谱监测与表面不均衡平整度的模拟计算
【摘 要】
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介绍了MOCVD在位反射谱监测的原理,利用高斯分布模拟GaN材料生长过程中表面不均衡平整度,计算其对反射谱的影响.
【机 构】
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厦门大学物理系
【出 处】
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闽西职业大学学报
【发表日期】
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2004年2期
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