3英寸6H-SiC单晶的生长

来源 :人工晶体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：mikelau1

【摘要】

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SiC是宽带隙半导体材料的典型代表,具有优良的热学、力学、化学和电学性质,不但可以用作基于GaN的蓝色发光二极管的衬底材料,同时又是制作高温、高频、大功率电子器件的最佳

【作者】

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王英民宁丽娜陈秀芳彭燕高玉强胡小波徐现刚蒋民华

【机构】

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山东大学晶体材料国家重点实验室

【出处】

：

人工晶体学报

【发表日期】

：

2007年3期

【关键词】

：

6H-SiC单晶单晶生长宽带隙半导体材料蓝色发光二极管大功率电子器件 Cree公司电学性质衬底材料

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SiC是宽带隙半导体材料的典型代表,具有优良的热学、力学、化学和电学性质,不但可以用作基于GaN的蓝色发光二极管的衬底材料,同时又是制作高温、高频、大功率电子器件的最佳材料之一,因此高质量、大直径SiC单晶的生长一直是材料研究领域的热点课题.目前美国的Cree公司在SiC单晶生长领域研发方面起步早、投入大,SiC单晶的直径达到4英寸,处于领先地位.

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