【摘 要】
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利用自主搭建的可径向移动的940 nm单波长红外辐射测温仪,研究了Thomas Swan CCS MOCVD第二次Bake过程中,反应室在不同气氛（氢气、氮气以及氢氮混合气体）和不同压强（13.33-53.33
【机 构】
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商洛学院化学工程与现代材料学院,南昌大学国家硅基LED工程技术研究中心
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利用自主搭建的可径向移动的940 nm单波长红外辐射测温仪,研究了Thomas Swan CCS MOCVD第二次Bake过程中,反应室在不同气氛（氢气、氮气以及氢氮混合气体）和不同压强（13.33-53.33 k Pa）下径向温度分布。试验结果表明：压强为13.33 k Pa,MOCVD反应室内的气氛不同时,红外测温结果主要受气体导热系数的影响;在20 L氢气下,反应室内压强越大温度越高;在压强为13.33 k Pa,H2流量的不同对测温影响不大。该研究结果可为MOCVD反应室的红外辐射测温与精确控温提
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